【卡氏水分*电子级乙酸乙酯】ALT-1-C在线水分仪测定电子级乙酸乙酯水分含量
Date：2026-08-03 13:45 View：94
关 键 词：电子级乙酸乙酯
应用领域：高纯溶剂/半导体/光刻胶
参考标准：GB/T 6324.8-2014
ALT-1-C在线测定电子级乙酸乙酯水分
摘要
电子级乙酸乙酯是超高纯溶剂，具有低金属、低颗粒特性。主要用于半导体晶圆清洗、光刻胶稀释及平板显示制造。作为关键湿电子化学品，其纯度直接影响芯片良率，是微电子精密制造不可或缺的基础材料。本例通过ALT-1-C在线测试电子级乙酸乙酯样品的水分。
仪器配置
●ALT-1-C
●全封闭安全滴定池组件
●双铂针电极
●放液电解电极
试剂配置
●滴定剂：卡尔费休库仑法试剂（Merck）
测定方法
●测试原理：卡尔费休反应/极化电流
●准备工作：在试剂瓶中填充足量的卡尔费休库仑法试剂，检查废液桶并清空废液
●分析流程：开启ALT-1-C水分测定仪，先执行更换试剂步骤，再启动分析，等待仪器电解平衡后，即按照乙酸乙酯水分分析程序执行在线水分分析流程
仪器参数
● 终点电位：450mV
● 平衡点位：0.3ug/s
● 电解档位：自动
● 搅拌速度：5档
● 漂移扣除：开启
测试数据
● 环境温度：25℃ ● 环境湿度：湿度30%
● 测试频率：1次/小时 ● 单次测试总时间：约7min（清洗上样约5min，分析时间2min )
|
序号 |
样品量/mL |
水含量/ug |
检测时长/min |
测量结果/ppm |
|
1 |
0.6 |
18.78 |
2 |
34.7 |
|
2 |
0.6 |
19.81 |
2 |
36.6 |
|
3 |
0.6 |
19.10 |
2 |
35.3 |
|
4 |
0.6 |
17.97 |
2 |
33.2 |
|
5 |
0.6 |
18.35 |
2 |
33.9 |
|
6 |
0.6 |
17.81 |
2 |
32.9 |
|
7 |
0.6 |
18.83 |
2 |
34.8 |
|
8 |
0.6 |
19.59 |
2 |
36.2 |
|
9 |
0.6 |
19.75 |
2 |
36.5 |
|
10 |
0.6 |
20.40 |
2 |
37.7 |